Při výrobě jsou použity materiály a maziva s nízkým odpařováním; HSS-16 je použito místo standardních lubrikantů a antikoroziv. Dokončený aktuátor je zabalen v neutěsněném pouzdře.
Krokové akuátory třídy této třídy je možné použít do vakuové komory do 10-4Torr.
Použijí se stejné materiály jako ve třídě 3, ale aktuátor navíc podstoupí speciální čistící proces. Montáž aktutátoru se provádí v rukavicích, a aktuátor je zabalen ve vzduchotěsném pouzdře.
Krokové akuátory třídy této třídy je možné použít do vakuové komory do 10-6Torr.
Aktuátor prochází daleko důkladnějším čištěním než ve třídě 2. Při montáži a po kompletaci jsou daleko striktnější podmínky na čistotu. Po sestavení je aktuátor zabalen ve dvojitém vzduchotěsném pouzdře uvnitř místnosti s třídou "Clean Room Class 1000".
Krokové akuátory třídy této třídy je možné použít do vakuové komory do 10-8Torr.
Aktuátory jsou čištěné ultrazvukem, a vypálené v peci. Při konstrukci jsou použity speciální materiály, jako speciální maziva speciální ložiska, speciální vinutí atd..
Zaslat poptávku
